根据客户样品定制
移动刻度尺，并可数字显示坐标
客户可以方便控制样品位移，移动精度1微米。

2D测试软件
样品尺寸可以通过测试软件测试采集入电脑的几何图像尺寸从而方便地计算出实际样品尺寸，测试前需要用标准件来校准测试系统。
背光
150W 白光可以连续调节。

掩膜板检测
掩膜板夹具可以选择是否需要背光源。

防震桌
可以**大地减少地面传导上来的震动。
TFT-LCD激光修复
可以选择进口或者国产激光加载在显微镜上，根据切割材质(金属，ITO，氧化物等)不同可以选择可见光，红外和紫外波段。

Air-100系统

可以用于 mask 或者TFT-LCD，材质(Au,Ag etc.)，**小线宽1微米。