[查看大图]
（1）可以处理各种形状的样品
对于复杂形状的样品，等离子清洗都能找到合适的解决方案。
真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。
1
外形尺寸
800mm*750mm*800mm
11
电**板尺寸
264mm*285mm
2
腔体内尺寸
269mm*290mm*508mm
12
腔体材质
铝
真空度
10pa-30pa
13
气体